
金融界2025年7月4日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“射频功率输出电路和半导体工艺设备”的专利,公开号CN120261246A,申请日期为2024年01月。
专利摘要显示,本申请公开了一种射频功率输出电路和半导体工艺设备,涉及半导体技术领域,可以改善因射频系统的差异导致的腔室匹配度低的问题,从而提高薄膜性能。射频功率输出电路包括:射频电源模块,包括第一射频电源和第二射频电源;功率分配模块,包括第一输入端、第二输入端、以及与多个工艺腔室一一对应的多个输出端;第一输入端与第一射频电源电连接,第二输入端与第二射频电源电连接,各输出端用于与对应的工艺腔室电连接;功率分配模块用于将第一输入端接收的第一射频信号的能量和/或第二输入端接收的第二射频信号的能量平均分配至各工艺腔室。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1078次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
本文源自:金融界
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