金融界2025年7月4日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“射频功率输出电路和半导体工艺设备”的专利，公开号CN120261246A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本申请公开了一种射频功率输出电路和半导体工艺设备，涉及半导体技术领域，可以改善因射频系统的差异导致的腔室匹配度低的问题，从而提高薄膜性能。射频功率输出电路包括：射频电源模块，包括第一射频电源和第二射频电源；功率分配模块，包括第一输入端、第二输入端、以及与多个工艺腔室一一对应的多个输出端；第一输入端与第一射频电源电连接，第二输入端与第二射频电源电连接，各输出端用于与对应的工艺腔室电连接；功率分配模块用于将第一输入端接收的第一射频信号的能量和/或第二输入端接收的第二射频信号的能量平均分配至各工艺腔室。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1078次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
本文源自：金融界
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